MFC란

마던테크는 저렴한 가격 으로 고성능, 고가의 제품을 적기에 공급 합니다

MFC(Mass Flow Controller)

  • Gas Bottle에서 나오는 Gas를 고객이 원하는 일정한 유량의 값으로 흐르게 하는 장치입니다.
  • 단위로는 제조사별로 다르지만 일반적으로 sccm (Standard Cubic Centimeter per Minutes) 사용합니다.
  • 반도체 공정 및 진공 장비에 공정상 필요한 Gas 를 Chamber내로 유입하는데 사용합니다.



각종 공정장비내 사용하는 GAS나 유체의 유량을 특정영역에서 액체 또는 기체의 특정 유형을 제어하도록 조정 하는 하는것입니다. 정밀한 장치로서 장시간 사용시 제어기능의 문제가 발생할수 있습니다. 폐사는 이러한 문제가 있는 PART (MFM ,MFC) 을 저렴하고 빠르게 수리 공급 할수가 있습니다.

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