다년간의 반도체,LCD 관련 진공 장비 경력을 바탕으로 최고의 기술력과 최고의 제품만을 선별하여 제공 가능
1. 수리품목 / 모델 다양화
- Brooks (구 Celerity, Unit)
- Horiba (구 STEC)
- Hitachi (구)
- 기타제품
2. Quality Managemant
- 수리 불량률 0% 유지관리 목표
3. Clean Room 확보
- Class 1000 clean room
- Class 100 clean bench 확보
- 보유장치의 다양화
- 긴급 시 당일 대용가능
- 평균납기 2일 ~ 3일 가능
다양한 Repair 모델
“다양한 모델 가능 _ 기타 제품도 가능”
1. Brooks (구 Celerity, Unit)
- UFC-8100, UFC-1660, UFC-8160등 Analog MFC.
- UFC-1661,UFC-8161등 Digital MFC.
2. Hitachi (구 AERA)
- FC-77X series, FC-78X, FC-98X series의 Analog MFC.
- FC-PA78X series, FC-D98x sries의 Digital MFC.
3.Horiba (구 STEC)
- SEC-7330, FC-7440, SEC-4400등 Analog MFC.
- SEC-Z500 series, SEC-N100 series Digital MFC
장비보유현황
CLEAN ROOM 확보를 통한, 보다 정밀한 작업이 가능 -> Class100 까지 확보
- Fluke Molbox ＆ molbloc Flow calibration system.
- Class 1000 Clean room.
- Class 100용 Clean bench.
- He Leak detector.(2x10E-10 He atm/sec측정가능).
- DI water system.(18 M ohm).
- 정밀 D/C power supply
Fluke Molbox ＆ molbloc Flow calibration system
DI water system.(18 M ohm).
Cleaning 용 DI Water System을 보유하고 있음
MFC의 parts세정용 DI water를 공급하는 장치
He Leak detector. 정밀 Power Supply
“MFC 정상 작동 유무 확인 및 Leak check 실시
